A400/A200D柜式機(jī) | |
X/Y/Z重復(fù)定位精度 X/Y/Z Repeat Position Accuracy | ±10um@4sigma(CPK≥1.33) |
運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式 Motion-Driven Mode | 直線電機(jī)+伺服馬達(dá) Linear motor+Servo Motot |
XYZ軸最大速度 | 1200/1200/500 mm/s |
A400點(diǎn)膠范圍 Working Range X/Y/Z | 單平臺(tái);單閥直噴400mm*400mm |
A200D點(diǎn)膠范圍 Working Range X/Y/Z | 雙平臺(tái);單閥直噴190mm*400mm |
機(jī)器外形尺寸 Machine Dimensions | 850mm*1000mm*1530mm |