| A400/A200D柜式機(jī) | |
| X/Y/Z重復(fù)定位精度 X/Y/Z Repeat Position Accuracy | ±10um@4sigma(CPK≥1.33) |
| 運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式 Motion-Driven Mode | 直線電機(jī)+伺服馬達(dá) Linear motor+Servo Motot |
| XYZ軸最大速度 | 1200/1200/500 mm/s |
| A400點(diǎn)膠范圍 Working Range X/Y/Z | 單平臺(tái)；單閥直噴400mm*400mm |
| A200D點(diǎn)膠范圍 Working Range X/Y/Z | 雙平臺(tái)；單閥直噴190mm*400mm |
| 機(jī)器外形尺寸 Machine Dimensions | 850mm*1000mm*1530mm |
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