| C100系列 | |
| 最大基板尺寸 | 510*510mm（可升級至：610*510mm） |
| 最小基板尺寸 | 50*50mm |
| 基板厚度尺寸 | 0.2~6mm |
| 鋼網(wǎng)框架尺寸 | 470*370mm~737*737mm |
| 傳輸方向 | 左進右出、右進左出、同進同出 |
| 清洗方式 | 干擦、濕擦、真空擦、高速清洗 |
| 功率要求 | AC:220?±10%, 50/60Hz 2.2KW |
| 設備尺寸 | L1240mm*W1410mm*H1500mm(不含三色燈） |
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